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氣體質(zhì)量流量計(jì)全稱為質(zhì)量流量控制器,其英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱MFC),主要由:流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。質(zhì)量流量計(jì)主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領(lǐng)域;比如:擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。其主要特點(diǎn):
1、可以任意角度安裝
2、良好的線性——多段線性補(bǔ)償
3、快速的響應(yīng)速度,穩(wěn)定度高,重復(fù)性好。
4、電磁閥使用壽命≥100萬次
5、對(duì)零點(diǎn)漂移有效的控制
6、傳感器、分流器、精密元器件日本進(jìn)口
產(chǎn)品名稱 |
氣體質(zhì)量流量計(jì) |
|
流量范圍 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min |
|
調(diào)節(jié)閥類型 |
電磁調(diào)節(jié)閥 |
|
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) |
常閉 |
|
安裝角度 |
任意 |
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流量控制范圍 |
2%~100% |
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流量測(cè)量范圍 |
0~100% |
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響應(yīng)時(shí)間 |
2s(T98,設(shè)定值的±2% F.S.) |
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工作環(huán)境溫度 |
5℃~50℃ |
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精度保證溫度 |
15℃~35℃ |
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精度 |
±1.0%F.S. |
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線性精度 |
±0.5%F.S. |
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重復(fù)性 |
±0.2%F.S. |
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工作壓差 |
~5L/min (50~300)kPa(D) |
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耐壓 |
3MPa |
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泄漏率 |
1×10-8 Pa?m3/s (He) |
|
接觸氣體材料 |
316L,PTFE,Viton氟橡膠 |
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管路接頭 |
Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ |
|
供電電源 |
±15VDC(±5%) +15V<100mA,-15V<150mA |
+24VDC(寬電壓+11~+25V), |
設(shè)定信號(hào) |
(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ |
4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) |
流量輸出信號(hào) |
(0~5)VDC 負(fù)載能力≤3mA |
|
電氣接頭 |
D-SUB15,D-SUB9 |
|
重量(kg) |
0.9 |