產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):RTP快速退火爐

  • 產(chǎn)品型號:CY-RTP1000-Φ150-400-T
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動(dòng),可實(shí)現快速升降溫。
詳情介紹:

        RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動(dòng),可實(shí)現快速升降溫。爐管內尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,試樣反應區處在一個(gè)密閉的石英腔體內,在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)也大大降低了間接污染試樣的可能性。設備配備LCD高清觸摸屏,設定數據實(shí)驗操作均為圖文界面,操作方便快捷易上手,能夠大大提高您的實(shí)驗效率。設備預留了真空和氣路的快速接口,可以選購我們的真空系統和混氣系統一起使用。

RTP快速退火爐應用領(lǐng)域:

  快速退火爐設備,可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴散、化合物半導體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點(diǎn)分析、薄膜沉積等。

RTP快速退火爐技術(shù)參數:

產(chǎn)品型號

CY-RTP1000-Φ150-400-T

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管直徑

120mm

爐管長(cháng)度

500mm

爐膛長(cháng)度

440mm

加熱區長(cháng)

400mm

恒溫區長(cháng)

200mm

工作溫度

01000

升溫速度

推薦80/s,快升溫速度100/s

降溫速度

200以上≤25min

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD觸摸屏

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭(?8寶塔嘴接頭)

可抽真空

4.4E-3Pa 分子泵

供電電源

AC:220V 50/60Hz





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