產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):?jiǎn)螠貐^旋轉PECVD石墨烯制備系統

  • 產(chǎn)品型號:CY-PECVD-50R-1200-Q
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動(dòng)投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進(jìn)料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過(guò)調節轉速來(lái)更改??蓪?shí)現在氣氛保護的環(huán)境下連續對粉末材料用PECVD方法進(jìn)行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環(huán)境下對處理好的料粉進(jìn)行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產(chǎn)生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學(xué)實(shí)驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實(shí)驗,通過(guò)機械傳動(dòng)能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
詳情介紹:

單溫區旋轉PECVD石墨烯制備

單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動(dòng)投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進(jìn)料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過(guò)調節轉速來(lái)更改??蓪?shí)現在氣氛保護的環(huán)境下連續對粉末材料用PECVD方法進(jìn)行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環(huán)境下對處理好的料粉進(jìn)行收集。

設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產(chǎn)生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學(xué)實(shí)驗上。

本設備特別適合顆粒型樣品實(shí)驗,通過(guò)機械傳動(dòng)能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。

技術(shù)參數:

射頻電源

 

 

 

 

 

輸出功率

150W

輸出精度

±1%

射頻頻率

13.56MHz

射頻穩定度

±0.005%

冷卻方式

風(fēng)冷

1200℃單溫區管式爐

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

供電電壓

AC220V,50Hz

*大功率

2KW

加熱溫區

單個(gè)溫區200mm

工作溫度

*高1200℃,連續運行溫度應≤1100

控溫精度

±1

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線(xiàn),可存儲多條

三溫區獨立控制,帶有過(guò)熱和斷偶保護

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

φ50x800mm

密封方式

真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

可調轉速

0-20rpm

傾斜角度

0-15°

真空泵

旋片機械泵

極限真空度

1.0E-1Pa

進(jìn)料方式

真空漏斗加螺桿進(jìn)料


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號